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碱性蚀刻液一般加什么催化剂呢?
2022-08-13

碱性蚀刻液一般加什么催化剂呢?


在氯化铜溶液中加入氨水,发生络合反应 , CuCl2+4NH3→Cu(NH3)4Cl2 在蚀刻过 程中,基板上面的铜被〔Cu (NH3)4〕2+络离子氧化,其蚀刻反应:Cu (NH3)4Cl2+Cu→2Cu(NH3)2Cl所生成的〔 Cu(NH3)2〕1+不具有蚀刻能力,在过量 的氨水和氯离子存在的情况下,能很快地 被空气中的氧所氧化,生成具有蚀刻能力 的〔Cu(NH3)4〕2+络离子,其再生反 应如下:2Cu(NH3)2Cl+2NH4Cl+2NH3+1/2O2 →2Cu(NH3)4Cl+H2O所以在蚀刻时, 应不断补加氨水和氯化铵,也称子液.


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