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上海捷福瑞环保介绍:超纯水在半导体等行业应用
2024-04-29

上海捷福瑞环保介绍:超纯水在半导体等行业应用


超纯水:既将水中的导电介质几乎完全去除,又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水。我们根据水的电阻率来判断水的纯度,一般纯水电阻率为10兆欧左右,高纯水10-15兆欧,超纯水电阻率大于18MΩ*cm,或接近18.3MΩ*cm极限值(25℃)。

超纯水作为电子制造中常见水,其制造离不开电子超纯水设备。该设备可以保证电子产品所需超纯水高质量的产出,从而确保适用电子制造中硅片、半导体材料、晶元材料等清洗使用。所以,电子超纯水设备广泛地用于电子行业中。

电子行业中集成电路的集成度越高,对水质的要求也越高,芯片相当于电子行业的“大脑”,虽然只有指甲盖大小,但一个芯片板上要放上数十亿个纳米级别的晶体管。在芯片生产时80%以上的工序都需要经过化学处理,而每一道化学处理都离不开水,因此半导体行业对于生产用水的水质要求也是相当严格,因为一旦水质不合格,或者是水中含有杂质,就会降低器件的性能,降低成品率,因此在生产时需要用到超纯水。芯片行业用水是否合格,也决定着产品是否能取胜,因此超纯水的制备关键成为了芯片行业的“决胜点”。

超纯水不达标对电子行业芯片的影响:

超纯水的一般制备工艺及流程:

⒈预处理----复床 ----混床---抛光树脂

⒉预处理----反渗透---混床---抛光树脂

⒊预处理----反渗透----CEDI膜块----抛光树脂

超纯水,是一般工艺很难达到的程度,采用预处理、反渗透技术、超纯化处理以及后级处理四大步骤,多级过滤、高性能离子交换树脂、超滤过滤器、紫外灯、除TOC装置等多种处理方法,电阻率方可达18.25MΩ*cm(25℃)。

离子交换树脂混床是超纯水生产制备过程中关键的一步,正常运行产水时水中的阴、阳离子几乎同时与树脂中的离子发生置换反应。初级混床是混合离子交换树脂的简称,即把阳,阴离子交换树脂按照一定比例混合充填于同一交换装置中,目的是除去水中的杂质阴阳离子。一般阳树脂的比重大于阴树脂的比重,因此在混床内阴树脂在上、阳树脂在下。由于树脂选型的差异,阳、阴树脂装填比例有1:2、1:1.5 不等。

MB-106为高阶核子级抛光树脂,是由核子级强酸型阳离子树脂T-46及核子级强碱型阴离子树脂A-33以1:2体积比的计量比例,预先混合的混床级离子交换树脂,专门提供给超纯水系统抛光用,具有的交换容量及优越的物理特性。适合用于电子产业 ,生产半导体及映像管产业,实验室,激光,精仪器,医用行业等需要超纯水的行业,以及核电厂等使用。在全球有数十家核电厂使用我们的抛光树脂。

MB-115是强酸阳离子交换树脂T-46(H)和1:1.5体积比的强碱阴离子交换树脂TA-33。MB- 115 是专门设计用于获得低电导率水的抛光剂。 是制造半导体的电子行业的理想选择。

产品优势

1、具有交换容量及优越的物理特性

2、在全球已有数十家核电厂使用我们的抛光树脂

3、为阶核子级抛光树脂,出水稳定达标


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